En este trabajo se presenta el análisis morfológico de multicapas nanométricas de V/VN, crecidas sobre sustratos de Si y aceros M2 por la técnica de magnetron sputtering R.F. Se crecieron películas delgadas de 1, 5, 7, 15 y 25 bicapas de V/VN en un espesor alrededor de 500 nm. Utilizando el software AnaCe creado en el programa de ingeniería física de la Universidad del Cauca, se analizaron las superficies de las multicapas mediante medidas de tamaño y área de grano, contenido de porosidad, factor de redondez y excentricidad como descriptores de forma. Se encontró un tamaño de grano promedio de 80nm; se observa que cuando aumenta el número de capas hay disminución en el tamaño de grano. También se analizó la relación entre el tamaño de grano y la dureza de las multicapas, encontrando que a menor tamaño de grano hay un aumento en la dureza del material.

This paper reports the morphological analysis of nanometric multilayer of V / VN, grown on substrates of Si and M2 steel by magnetron sputtering technique. Thin films were grown with 1, 5, 7, 15 and 25 bilayers of V / VN in a thickness around 500nm. Using the software AnaCe created in the Engineering Physics program of the University of Cauca, we analyzed the multilayer surfaces through measures of grain size and area, porosity content, roundness factor and eccentricity as shape descriptors. An average grain size of 80nm was found; we see that when the number of layers increases the grain size decrease. We also analyzed the relationship between grain size and hardness of the multilayer, and found that with a smaller grain size, material hardness increases.